催化燃燒設(shè)備廢氣處理過程主要包括三部分吸附氣體過程、脫附氣體過程，催化燃燒過程。

   1、吸附氣體過程：利用活性炭的物理特性對VOCs有機(jī)廢氣進(jìn)行吸附，利用蜂窩狀活性炭比表面積大、吸附能力強(qiáng)的特性，將有機(jī)廢氣吸附到活性炭的微孔中，待活性炭吸附飽和后，隨即進(jìn)行脫附氣體過程。

   2、脫附氣體過程：當(dāng)活性炭微孔吸附飽和時(shí)，將不能再進(jìn)行吸附，此時(shí)利用催化床產(chǎn)生的高溫?zé)犸L(fēng)對吸附飽和后的活性炭進(jìn)行升溫脫附，活性炭微孔中的VOCs有機(jī)物遇高溫后自動(dòng)脫離活性炭，使活性炭脫附再生，脫附后的VOCs氣體隨即進(jìn)入催化燃燒室進(jìn)行催化燃燒。

3、催化燃燒過程：脫附下來的VOCs有機(jī)廢氣已被濃縮，其濃度是原來的幾十倍甚至幾百倍并被送入催化燃燒室進(jìn)行催化燃燒，在250～350℃的高溫以及貴金屬催化劑的催化氧化作用下，VOCs有機(jī)廢氣轉(zhuǎn)化為無害的CO2和H2O排出，從而使氣體得以凈化。

催化燃燒反應(yīng)是一個(gè)放熱反應(yīng)，催化燃燒處理后的潔凈空氣一部分直接排到大氣，大部分熱氣被再次回收利用，主要用于活性炭的脫附再生。所以催化燃燒設(shè)備后期能達(dá)到一個(gè)熱平衡，后期不需要加熱，只有風(fēng)機(jī)在耗電。催化燃燒設(shè)備既能滿足燃燒和脫附所需熱能，又能達(dá)到節(jié)能的目的，再生后的活性炭可用于下次吸附。

   有時(shí)為了增加催化燃燒設(shè)備的使用壽命，可以在催化燃燒設(shè)備之前加設(shè)一臺(tái)預(yù)處理設(shè)備，例如噴淋塔、干式過濾器或者除塵器，這些設(shè)備可以過濾廢氣中的粉塵顆粒物及粘性成分。