• LEGEX系列為超高精度CNC三坐標(biāo)測量機(jī)， 對(duì)所有可能產(chǎn)生誤差的因素進(jìn)行嚴(yán)格分析并 消除或程度地降低其影響。 • 固定橋結(jié)構(gòu)和精密空氣軸承在高剛性導(dǎo)軌上 運(yùn)行確保了良好的運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性和超高幾何精 度。采用FEM結(jié)構(gòu)解析模擬進(jìn)行徹底的應(yīng)力 分析，保證了幾何運(yùn)動(dòng)精度，使負(fù)荷及其它 變量波動(dòng)造成的誤差降至*小。另外，其他 多種技術(shù)如抗振測量等用于驅(qū)動(dòng)單元結(jié)構(gòu) 中，實(shí)現(xiàn)了超高精度。