● CV-4500系列是在Z1軸(檢出器)上配有高 精度弧形光柵尺和新型測臂的輪廓測 量儀。高精度弧形光柵尺能直接讀取測 針的弧形軌跡,以實現(xiàn)高精度和高分辨 力。與傳統(tǒng)型號相比,新測臂使Z1軸測 量范圍增大了10mm同時減少了工件的 干擾。測臂安裝部采用了磁性鏈接件, 單此接觸就能完成測臂的裝卸,提高了 易用性。
● 專為CV-4500系列增加了以下兩大特性: (1) 裝配雙面測針,實現(xiàn)垂直方向(上/下) 連續(xù)測量,所獲取的數(shù)據(jù)實現(xiàn)簡單分 析以往難以測量的內(nèi)螺紋有效直徑。 (2) 測力可在FORMTRACEPAK軟件中設(shè) 置。無需調(diào)整配重位置。
規(guī)格
貨號 CV-4500S4 CV-4500H4 CV-4500W4 CV-4500L4 CV-4500S8 CV-4500H8 CV-4500W8 CV-4500L8
測量 范圍
X軸 100mm 200mm Z1軸 (檢出器) 60mm (水平位置±30mm) Z2軸 (立柱) 移動范圍 300mm 500mm 700mm 300mm 500mm 700mm
Z1軸 (檢出器)
光柵尺類型 弧形 分辨力 0.02µm 測針上/下運作 弧形移動 測量方向 向前/向后 測針方向 垂直方向 (向上/向下單獨測量) 測力 10,20,30,40,50mN (根據(jù)軟件轉(zhuǎn)換) 跟蹤角度 向上: 77º, 向下: 83º (根據(jù)表面粗糙度,使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測針*1)
驅(qū)動部
長度基準(zhǔn)
X軸 激光全息光柵尺 Z2軸 (立柱) ABS光柵尺
分辨力
X軸 0.05µm Z2軸 (立柱) 1µm
驅(qū)動速度
X軸 0~80mm/s外加手動 Z2軸 (立柱) 0~30mm/s外加手動 測量速度 X軸 0.02、0.05、0.1、0.2、0.5、1.0、2.0、5.0、10、20mm/s 直線度*2 X軸 0.8µm/100mm 2µm/200mm 傾角范圍 X軸 ±45º
精度 (20ºC)
X軸
±(0.8+0.01L)µm L=驅(qū)動長度(mm) 寬范圍:1.8µm/100mm 窄范圍:1.05µm/25mm
±(0.8+0.02L)µm L=驅(qū)動長度(mm) 寬范圍:4.8µm/200mm 窄范圍:1.3µm/25mm Z1軸(檢出器) ±(0.8+|2H|/100)µm H=水平位置上的測量高度(mm) 外形尺寸 (W×D×H) 主機*3 756×482 ×966 mm 756×482 ×1166 mm 1156×482 ×1176 mm 1156×492 ×1436mm 766×482 ×966 mm 766×482 ×1166 mm 1166×482 ×1176 mm 1166×492 ×1436mm 重量 主機 140kg 150kg 220kg 270kg 140kg 150kg 220kg 270kg