產(chǎn)品展示
探針輪廓儀（臺階儀）DEKATK150
點擊次數(shù)：186發(fā)布時間：2010/9/8 16:21:21
更新日期：2010/9/8 16:21:21
所 在 地：
產(chǎn)品型號：DEKATK150
相關(guān)標(biāo)簽：
優(yōu)質(zhì)供應(yīng)
詳細內(nèi)容
測試技術(shù)：探針輪廓技術(shù)
測試功能：二維表面輪廓測試
樣品視場：640*480像素，USB；17 inc 平板顯示器
探針傳感器：低慣量傳感器（LIS 3）
探針壓力：使用LIS 3傳感器：1至15 mg
使用N-lite傳感器：0.03至15 mg
探針選項：探針曲率半徑可選范圍：50 nm至25 um;
高徑比針尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um
樣品載物臺：手動X/Y/@：100*100 mm, 360度旋轉(zhuǎn)，可手動校平；
可選Y自動移動載物臺，100 mm行程，1um重現(xiàn)性，0.5 um分辨率；
可選X-Y自動移動載物臺，150 mm行程；
1um重現(xiàn)率，0.5 um 分辨率
計算機系統(tǒng)：主機使用celeron或者semprom處理器
軟件：Dektak軟件
臺階檢測軟件
可選應(yīng)力測量軟件
可選三維Vision分析軟件
可選縫合軟件
減震裝置：可選桌式震動隔離裝置
可選臺式震動隔離裝置
性能
掃描長度范圍 55mm（2.1英寸）
每次掃描數(shù)據(jù)點*多12萬數(shù)據(jù)點
樣品厚度高達90 mm （4英寸），取決于配置
晶圓尺寸 150 mm（6英寸）
臺階高度重現(xiàn)性 6埃
垂直范圍：標(biāo)準(zhǔn)524um（0.02英寸）；可選1mm
垂直分辨率：1A（6.55um垂直范圍下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
電源要求：
輸入電壓： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ
