產(chǎn)品展示
激光修復(fù)儀
點(diǎn)擊次數(shù)：30發(fā)布時(shí)間：2018/2/25 14:15:51
更新日期：2023/2/6 10:15:19
所 在 地：中國大陸
產(chǎn)品型號(hào)：
優(yōu)質(zhì)供應(yīng)
詳細(xì)內(nèi)容
| LCVD激光修復(fù)機(jī) | |||||
| 型號(hào) | LCVD-G6 | LCVD-G8.5 | |||
| 外形 | 2,850mm(寬)x2,500mm(長)x2,500 mm(高) | 4,000mm(寬)x3,500mm(長)x2,500 mm(高) | |||
| 重量 | 約7500公斤 | 約10500公斤 | |||
| 電力需求 | 380V，50Hz, 3Phase, approx. 40A Max | 380V，50Hz, 3Phase, approx.60A Max | |||
| 可修復(fù)產(chǎn)品尺寸 | 長寬≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm | 長寬≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm | |||
| 修復(fù)能力 | 沉積材質(zhì) | W,Cr,Mo,Al | 激光特性 | 激光系統(tǒng) | DPSS激光切割系統(tǒng) |
| 沉積線路速度 | 5~10um/s(厚度5000 Å) | CW激光沉積系統(tǒng) | |||
| 單處缺陷修復(fù)時(shí)長 | 定位后，修復(fù)單處缺陷時(shí)間在5s左右 | 能量調(diào)節(jié)精度 | 0-1000 steps | ||
| 工藝參數(shù) | 軟件可以添加任意組工藝參數(shù) | 0-100% | |||
| Cutting寬度 | 2um到50um可調(diào) | Slit 窗口調(diào)節(jié)大小 | 0~2.4mm | ||
| 沉積寬度 | 3um到30um可調(diào) | Slit 窗口控制精度 | 1um | ||
| 沉積邊緣精度 | +-0.5um | 激光能量校準(zhǔn)方式 | 自動(dòng)校準(zhǔn) | ||
| 沉積厚度 | 2000 Å ~15000Å可調(diào) | 校準(zhǔn)時(shí)間 | 3mins | ||
| 沉積線路的電阻值 | <65歐姆 (寬度5um, 長度50um,厚度5000 Å) | 激光能量校準(zhǔn)精度 | 優(yōu)于2% | ||
| 沉積穩(wěn)定性 | 1.清洗機(jī)清洗次數(shù)>10 times | 激光波長 | Cut Laser :IR 1064nm，GRN 532nm，UV 266nm | ||
| 2.棉簽蘸丙酮擦拭>500次 | CVD CW laser :NUV/UV | ||||
| 3.強(qiáng)酸堿測試>1H | 脈寬 | < 12 ns | |||
| 3.毛刷擦拭>1H | 光斑尺度 | 2.0~ @50X object 1064nm (在標(biāo)準(zhǔn)mask上測試) | |||
| 4.超聲波1MHZ>1H | 掃描面能量均勻性 | 優(yōu)于5% IR | |||
| 平臺(tái)功能 | Gantry結(jié)構(gòu) | 龍門式 | 激光壽命 | Cut Laser:10億次激發(fā) | |
| X-Y-Z運(yùn)動(dòng)行程 | LVCD-G6 1500 *1850*58mm(X-Y-Z) | CVD CW laser: 8000小時(shí) | |||
| LVCD-G8.5 2500 *2200*58mm(X-Y-Z) | 修復(fù)工作模式 | Scan掃描式和 Step模式 | |||
| X-Y運(yùn)動(dòng)速度 | 0~400mm/s可調(diào) | 掃描路徑 | 可任意定義路徑 | ||
| 精度(*小移動(dòng)量) | 0.1um | 控制 | 工作模式 | 自動(dòng)修復(fù)，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的自動(dòng)導(dǎo)入和輸出，聯(lián)機(jī)通訊手動(dòng)或者半自動(dòng)修復(fù) | |
| Z 運(yùn)動(dòng)速度 | 0~2mm/s可調(diào) | ||||
| 精度(*小移動(dòng)量) | 0.1um | 上下片 | 機(jī)械手或者流水線 | ||
| 重復(fù)定位精度 | +-5um | CIM系統(tǒng) | 有 | ||
| 修復(fù)對位精度 | 0.1um | 減震 | 主動(dòng)式減震系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫面不抖動(dòng) | ||
| 光學(xué)特性 | 光路系統(tǒng)倍率： | 50X~ 1000X | |||
| 5X ,10X ,20X , 50X NIR, 50X UV,50X NUV Objects | 工業(yè)PC | 23寸顯示器&電腦：i7 處理器，1TB硬盤2塊(其中一塊為備份硬盤)，8G內(nèi)存，1G獨(dú)立顯卡，DVD-ROM | |||
| 光學(xué)分辨率 | 0.7um | ||||
| 物鏡切換速度 | 0.2~0.7s | 通訊接口 | RS232/EtherCAT/GPIB等 | ||
| 切換鏡頭偏差 | 小于3um | 安全 | 整機(jī)帶屏蔽罩，操作人員在屏蔽罩外操作 | ||
| 聚焦 | 激光自動(dòng)聚焦 | 緊急開關(guān)EMO | |||
| 相機(jī) | 200萬像素 | 限位sensor，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和激光系統(tǒng)限位互鎖 | |||
| 照明 | 平臺(tái)有下光源，并且能夠上下光源切換，屏蔽罩內(nèi)安裝照明，照度達(dá)到1000lux以上。 | Interlock報(bào)警，自動(dòng)關(guān)閉系統(tǒng)(軟件設(shè)置為可選) | |||
| 應(yīng)用方向 | TFT-LCD 和 OLED Array Panel 布線開路和短路的修復(fù),Mask 的缺陷修復(fù) | ||||
| 特點(diǎn)： | |||||
| 穩(wěn)定的修復(fù)結(jié)果 | 功能豐富的軟件 | ||||
| 超高的修復(fù)精度 | 可以編輯修復(fù)形狀 | ||||
| 0.1um精度的直線電機(jī)平臺(tái) | 自動(dòng)AOI定位 | ||||
| 極小的損傷 | 可做多工位設(shè)計(jì) | ||||
| 1um的激光精度 | 自動(dòng)上下片 | ||||
深圳市森美協(xié)爾科技有限公司(SEMISHARE)致力半導(dǎo)體技術(shù)的共享事業(yè)，專注于促進(jìn)中國半導(dǎo)體行業(yè)的快速成長，目標(biāo)成為半導(dǎo)體行業(yè)的total solution供應(yīng)商。目前設(shè)有半導(dǎo)體設(shè)備制造工廠和半導(dǎo)體儀器代理營銷事業(yè)部。
公司經(jīng)營理念：
堅(jiān)持高度職業(yè)道德
1) 對客戶我們說真話并且努力實(shí)現(xiàn)對客戶的承諾。
2) 對供應(yīng)商我們以客觀、公正的態(tài)度進(jìn)行挑選及合作。
3) 在公司內(nèi)部，我們絕不容許貪污；不容許在公司內(nèi)有派系產(chǎn)生；也不容許公司政治的形成。
放眼世界市場，化經(jīng)營
我們的市場定位是在全球市場中建立競爭力。
注意長期策略，追求永續(xù)經(jīng)營
我們注重企業(yè)永續(xù)經(jīng)營，做長期戰(zhàn)略規(guī)劃，并認(rèn)真的執(zhí)行。
與供應(yīng)商和客戶分享我們的成功
我們視供應(yīng)商何客戶的競爭力為SEMISHARE的競爭力，供應(yīng)商和客戶的成功為SEMISHARE的成功，我們努力塑造良性循環(huán)的合作模式。
品質(zhì)是我們工作與服務(wù)的原則
在SEMISHARE，品質(zhì)是每一個(gè)員工的責(zé)任，我們本著追求卓越、精益求精的態(tài)度，認(rèn)真的把每一件事、每一件任務(wù)做到，并且不斷改進(jìn)，力求更上一層樓。
鼓勵(lì)在各方面的學(xué)習(xí)，確保高度企業(yè)活力
SEMISHARE需要不斷地學(xué)習(xí)進(jìn)步，常保公司充滿蓬勃朝氣與活力，隨時(shí)秉持積極進(jìn)取、高效率的處事態(tài)度，來因應(yīng)瞬息萬變的產(chǎn)業(yè)市場特性。
營造具挑戰(zhàn)性、有樂趣的工作環(huán)境
我們要齊力塑造并維持一個(gè)具挑戰(zhàn)性，有樂趣的環(huán)境，培養(yǎng)并吸引志同道合而且*優(yōu)秀的人才。
建立開放型管理模式
我們要營造樂于溝通的環(huán)境，以建立開放型管理模式。同事間互相以誠信、坦率、合作相待。同事樂于接受意見，也樂于改進(jìn)自己。同時(shí)，更將透過集思廣益的方法接受各方看法，而在做成決定后，就團(tuán)結(jié)一致、不分你我、集中力量朝共同目標(biāo)戮力以赴。
努力回饋社會(huì)
我們深刻的認(rèn)識(shí)SEMISHARE的成長也得力于社會(huì)及產(chǎn)業(yè)環(huán)境的配合，我們須要不斷地盡能力回饋社會(huì)，做一個(gè)良好的企業(yè)公民。
SEMISHARE全體同事需要隨時(shí)信守本公司的經(jīng)營理念，并落實(shí)于工作中。
