上海芯片材料表面分析,芯片材料表面分析公司,宜特檢測(cè)二次離子質(zhì)譜儀(SIMS)一般常見(jiàn)的表面材料成份分析儀器有歐杰電子顯微鏡AES、化學(xué)分析電子儀ESCA以及二次離子質(zhì)譜儀SIMS。其中二次離 子質(zhì)譜儀具有高靈敏度的雜質(zhì)偵測(cè)力，幾乎對(duì)所有元素的偵測(cè)極限可達(dá)ppma(百萬(wàn)分原子密度)，對(duì)于部份元素的偵測(cè)極 限甚至可達(dá)ppba (十億分原子密度)，而被全方面的應(yīng)用于半導(dǎo)體以及薄膜材料分析上。SIMS分析優(yōu)點(diǎn)：偵測(cè)極限可達(dá)ppma甚至ppba可偵測(cè)周期表上所有元素(H~U)可區(qū)分同位素縱深分辨率為10~20nm，具佳可達(dá)2~5nm可分析導(dǎo)電不良樣品藉由標(biāo)準(zhǔn)品以及RSF (Relative Sensitivity Factor)可作定量分析SIMS應(yīng)用很全方面，如偵測(cè)表面污染、氧化還原、吸附、腐蝕、觸媒效應(yīng)等動(dòng)態(tài)分析研究，尤其可作微量元素分布，因此在材料、化學(xué)、物理、冶金及電子方面之發(fā)展被大量使用。SIMS不但可作表面及整體之分析，又可直接作影像觀察，其靈敏度及解析能力甚高，周期表H~U元素均可偵測(cè)，尤其對(duì)同位素分析更是有效。關(guān)于宜特：iST始創(chuàng)于1994年的臺(tái)灣，主要以提供集成電路行業(yè)可靠性驗(yàn)證、失效分析、材料分析、無(wú)線認(rèn)證等技術(shù)服務(wù)。2002年進(jìn)駐上海，全球現(xiàn)已有7座實(shí)驗(yàn)室12個(gè)服務(wù)據(jù)點(diǎn)，目前已然成為深具影響力之芯片驗(yàn)證第三方實(shí)驗(yàn)室。