產(chǎn)品展示
原子力顯微鏡 哪家好?
點(diǎn)擊次數(shù)：17發(fā)布時(shí)間：2017/7/14 16:18:34
更新日期：2017/7/14 16:18:34
所 在 地：中國(guó)大陸
產(chǎn)品型號(hào)：XE-15
優(yōu)質(zhì)供應(yīng)
詳細(xì)內(nèi)容
儀器簡(jiǎn)介:
Park XE-15具有全面的樣品兼容性。其多種樣品臺(tái)設(shè)計(jì)，為不同尺寸、形狀、數(shù)量的樣品提供了方便可靠的測(cè)試環(huán)境。解耦合的閉環(huán)XY掃描器，消除了彎曲效應(yīng)誤差，提供了無(wú)與倫比的線性度。真正的非接觸掃描模式，擴(kuò)大了適合樣品種類(lèi)，同時(shí)極大地延長(zhǎng)了探針壽命，降低了使用成本。
技術(shù)參數(shù)：
掃描器
XY掃描器
柔性制導(dǎo)閉環(huán)控制單模塊掃描器
掃描范圍100μm*100μm（可選50μm*50μm）
平面偏移度:<2nm（40μm*40μm掃描）
Z掃描器
柔性制導(dǎo)強(qiáng)力掃描器
掃描范圍12μm（可選25μm）
共振頻率：>5kHz
表面成像噪聲：0.03nm
樣品臺(tái)
樣品臺(tái)種類(lèi)：16位點(diǎn)樣品臺(tái)/150mm直徑真空吸附臺(tái)（可選200mm直徑真空吸附臺(tái)）
樣品尺寸： 150mm*150mm*20mm
樣品重量：500g
樣品臺(tái)移動(dòng)范圍：150mm*150mm（可選200mm*200mm）
