儀器簡介: NX-20具有卓越的形貌表征能力，完善的設計使其保證了掃描的高精確度和數(shù)據(jù)的高重復性。高度自動化的軟硬件，極大地避免了人為操作的失誤和誤差，提高了工作效率測量，降低了勞動強度。該儀器具備高速的伺服響應能力，超高的掃描器線性度，極低的閉環(huán)檢測器噪聲水平，和*小的系統(tǒng)熱漂移量。作為一款界面友好，操作簡便的儀器，NX-20會成為納米研究領域及相關產(chǎn)業(yè)界的得力助手。儀器簡介:技術參數(shù)：掃描器XY掃描器柔性制導閉環(huán)控制單模塊掃描器掃描范圍100μm*100μm（可選50μm*50μm）平面偏移度:<2nm（全量程掃描） Z掃描器柔性制導強力掃描器掃描范圍15μm（可選30μm）定位檢測噪聲：0.03nm（帶寬：1kHz）共振頻率：>9kHz表面成像噪聲：0.03nm 樣品臺樣品臺種類：16位點樣品臺/150mm直徑真空吸附臺（可選200mm直徑真空吸附臺）樣品尺寸： 150mm*150mm*20mm樣品重量：500g樣品臺移動范圍：150mm*150mm（可選200mm*200mm）主要特點：一、高精確性和高重復性● 探針幾乎沒有損耗，保證了圖像的高分辨率● 非接觸模式下*快的掃描速度● 獨特的雙路閉環(huán)解耦合XY平板式掃描器● 業(yè)內(nèi)*小的系統(tǒng)漂移和遲滯二、低噪聲檢測器精確測量樣品形貌●采用業(yè)界的低噪聲檢測器測量樣品形貌● 消除了蠕變效應導致的邊緣超調(diào)誤差● 高速掃描過程中的精確形貌檢測記錄●業(yè)界的極小正反測量偏離量，小于0.15%三、Non-Contact™(真正非接觸) 模式極大降低了使用成本●相對于傳統(tǒng)掃描模式，將探針壽命提高了10倍以上●極低的探針損耗極大地延長了探針高分辨掃描壽命●對樣品幾乎沒有磨損

儀器簡介:

NX-20具有卓越的形貌表征能力，完善的設計使其保證了掃描的高精確度和數(shù)據(jù)的高重復性。高度自動化的軟硬件，極大地避免了人為操作的失誤和誤差，提高了工作效率測量，降低了勞動強度。該儀器具備高速的伺服響應能力，超高的掃描器線性度，極低的閉環(huán)檢測器噪聲水平，和*小的系統(tǒng)熱漂移量。作為一款界面友好，操作簡便的儀器，NX-20會成為納米研究領域及相關產(chǎn)業(yè)界的得力助手。

 

技術參數(shù)：

掃描器

XY掃描器

柔性制導閉環(huán)控制單模塊掃描器

掃描范圍100μm*100μm（可選50μm*50μm）

平面偏移度:<2nm（全量程掃描）

 

Z掃描器

柔性制導強力掃描器

掃描范圍15μm（可選30μm）

定位檢測噪聲：0.03nm（帶寬：1kHz）

共振頻率：>9kHz

表面成像噪聲：0.03nm

 

樣品臺

樣品臺種類：16位點樣品臺/150mm直徑真空吸附臺（可選200mm直徑真空吸附臺）

樣品尺寸： 150mm*150mm*20mm

樣品重量：500g

樣品臺移動范圍：150mm*150mm（可選200mm*200mm）

 

主要特點：

一、高精確性和高重復性

● 探針幾乎沒有損耗，保證了圖像的高分辨率

● 非接觸模式下*快的掃描速度

● 獨特的雙路閉環(huán)解耦合XY平板式掃描器

● 業(yè)內(nèi)*小的系統(tǒng)漂移和遲滯

二、低噪聲檢測器精確測量樣品形貌

●采用業(yè)界的低噪聲檢測器測量樣品形貌

● 消除了蠕變效應導致的邊緣超調(diào)誤差

● 高速掃描過程中的精確形貌檢測記錄

●業(yè)界的極小正反測量偏離量，小于0.15%

三、Non-Contact™(真正非接觸) 模式極大降低了使用成本

●相對于傳統(tǒng)掃描模式，將探針壽命提高了10倍以上

●極低的探針損耗極大地延長了探針高分辨掃描壽命

●對樣品幾乎沒有磨損