一、直流脈沖產(chǎn)品套件

 

AE 的脈沖產(chǎn)品系列具有各種功能，能夠滿足您所有的困難和各式各樣的工藝要求。這個靈活的直流脈沖附件系列提供 10-200kW 的功率以及 2-100kHz 的固定和可變頻率。這個系列的每一項產(chǎn)品在設(shè)計上均具有相當?shù)奶攸c，能夠針對反應(yīng)和直流濺射提供經(jīng)證實的優(yōu)勢。

 

二、ASCENT AP（脈沖）電源

 

2013年，AE 通過采用雙極性脈沖直流技術(shù)為雙極磁控濺射帶來了新的技術(shù)革新，提供了前所未有的等離子體控制技術(shù)。Ascent AP電源在緊湊的單/雙極磁控濺射方案中引入了額外的控制參數(shù)，使得功率輸出更加優(yōu)化。Ascent AP具有的脈沖技術(shù)，可以主動抑制電弧，其廣泛的工作范圍使得該電源可以應(yīng)用于許多材料，拓展了制程的靈活性以及材料的不斷創(chuàng)新。

 

三、擁有Arc Management System 技術(shù)的 Ascent 直流電源

 

強大的 Ascent 直流電源專門用于易產(chǎn)生電弧的工藝制程，它可以提供穩(wěn)定功率，以獲得可重復(fù)的高質(zhì)量薄膜。嚴格的質(zhì)量控制過程確�？蛇_到可靠性。Effective Arc Management System 功能可以熄滅電弧，防止不必要的薄膜損壞或制程中斷。同時 Set Point Compensation 技術(shù)可以平衡設(shè)定點與濺射率，即使在電弧非常頻繁的情況下也能做到這一點。Ascent 電源配備了多種用戶界面和虛擬前面板軟件，易于設(shè)置和操作。您可以選擇主/從裝置，或利用 Arc-Sync 技術(shù)以多個相鄰的陰極調(diào)節(jié)電源。不管您的配置如何，均可使用 Ascent 電源獲得穩(wěn)定、可重復(fù)的電源。

 

四、Pinnacle 系列

 

業(yè)界公認的 Pinnacle 直流電源平臺具有絕佳的工藝一致性和控制功能，從而大大減少了工藝變化，提高了產(chǎn)量。這個緊湊、功能強大的套件提供了業(yè)界的存儲能量、*快的弧反應(yīng)以及*廣的全功率運行阻抗范圍。

 

五、Pinnacle Plus+

 

Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle Plus+ 電源為單體直流脈沖電源，為您的反應(yīng)工藝提供脈沖直流電解決方案所有優(yōu)點，包括使用簡單、節(jié)約成本以及具有絕佳的靈活性。結(jié)合標準直流電技術(shù)和經(jīng)過工藝證明的脈沖直流電技術(shù)，Pinnacle Plus+ 電源與復(fù)雜而昂貴的交流電解決方案相比，沉積率更高，重復(fù)性能更好，薄膜質(zhì)量更為優(yōu)異。