產(chǎn)品展示

自動橢圓偏振測厚儀

更新日期：2010/9/1 18:41:36

所在地：

產(chǎn)品型號： TPY-2型

簡單介紹：產(chǎn)品特點：儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長精度高。儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要

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產(chǎn)品詳細(xì)說明

產(chǎn)品特點：

儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長精度高。

儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。

規(guī)格與主要技術(shù)指標(biāo)：

測量范圍：薄膜厚度范圍1nm-4000nm 折射率范圍：1-10

測量*小示值：≤1nm 入射角：20°- 90°精度≤0.05°

度盤刻度：每格1度允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm

偏振器步進(jìn)角：0.014°/步偏振器方位角范圍：0°- 180°

測量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為：0.5nm和0.005

儀器測量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時）

光學(xué)中心高度：80mm

成套性：主機(jī)、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件（需配計算機(jī)）

主機(jī)重量：26kg 外形尺寸：680*390*310mm

聯(lián)系人：黃杰