Line Tech氣體質量流量控制器
產品特點：
- 快速的響應時間
- 無泄漏
- 較好的抗腐蝕性
- **的線性
- 較高的長期穩(wěn)定性
- 寬泛的壓力范圍
- 模塊化設計
- 較高性價比
技術指標：
流量范圍 10SCCM-125SLPM 響應時間 ≤2sec 準確度 ≤1%FS 重復精度 ±0.25% 輸入/輸出信號 0-5VDC,4-20mA 供電電源 +15~28VDC,350mA 耐壓 <9MPa 工作環(huán)境溫度 0-50℃ 泄漏率 1*10-9atm.cc/sec
Line Tech氣體質量流量控制器
產品特點： 技術指標：流量范圍10SCCM-125SLPM響應時間≤2sec準確度≤1%FS重復精度±0.25%輸入/輸出信號0-5VDC,4-20mA供電電源+15~28VDC,350mA耐壓<9MPa工作環(huán)境溫度0-50℃泄漏率1*10-9atm.cc/sec
