1、概念：濕化學(xué)品是歐美及我國臺灣地區(qū)的稱呼（更為普遍），上又稱工藝化學(xué)品，我國習(xí)慣稱其為超凈高純試劑。

2、應(yīng)用：濕化學(xué)品是超大規(guī)模集成電路、平板顯示、太陽能電池、晶圓等制作過程中不可缺少的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料。濕化學(xué)品一般要求超凈和高純，對生產(chǎn)、包裝、運輸及使用環(huán)境的潔凈度都有高要求。

3、目的：濕電子化學(xué)品的金屬雜質(zhì)含量越低、顆粒度越小，越是可以應(yīng)用于更為的晶圓制程工藝。所以濕電子化學(xué)品的核心指標(biāo)就是“純凈度”。液體顆粒計數(shù)器來判定濕化學(xué)品的純度等，以便對應(yīng)的企業(yè)采購對應(yīng)別的產(chǎn)品。

4、檢測儀器：PMT-2 液體顆粒計數(shù)器，防腐型。采用普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器，雙精準(zhǔn)流量控制-精密計量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng)，可

對鹽酸、硫酸、硝酸、氨水、雙氧水、氫氧化鉀、氫氧化鈉、刻蝕液等化學(xué)品進行顆粒檢測。有0.1、0.2、0.5三個檢測段的傳感器供選擇。

5、試劑：單酸堿、混合液、溶劑類。

6、檢測過程：取一定量溶液；用PMT-2液體顆粒計數(shù)器對液樣進行檢測，將檢測結(jié)果對照電子化學(xué)品SEMI標(biāo)準(zhǔn)等表，來判定溶液的別。見下表：

7、結(jié)論：目太陽能電池域僅需要達到G1等；顯示面板域一般要求達到G2、G3等；集成電路域，8英寸及以下晶圓要求達到G3、G4水平，12英寸晶圓需要達到G5等。上制備G1到G5濕電子化學(xué)品的技術(shù)已經(jīng)趨于成熟，國內(nèi)大部分企業(yè)已經(jīng)達到G3標(biāo)準(zhǔn)，并已開展G4標(biāo)準(zhǔn)的研發(fā)工作。

原創(chuàng)作者：陜西普洛帝測控技術(shù)有限公司