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產(chǎn)品展示

RTP快速退火爐

點(diǎn)擊次數(shù):17發(fā)布時(shí)間:2017/2/10 10:56:10

RTP快速退火爐

更新日期:2017/2/10 10:56:10

所 在 地:中國(guó)大陸

產(chǎn)品型號(hào):YWRTP-101405

簡(jiǎn)單介紹:YWRTP-101405快速退火爐由我公司自主研發(fā)的功能強(qiáng)大的加熱設(shè)備。該產(chǎn)品采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱,造型新穎結(jié)構(gòu)合理,爐體和爐管可以自由滑動(dòng),可實(shí)現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸130MM,可以直接放下5英寸的材料。廣泛用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域,可滿足離子注入后的快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火,氧化物生長(zhǎng)以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場(chǎng)合。

相關(guān)標(biāo)簽:快速退火 

優(yōu)質(zhì)供應(yīng)

詳細(xì)內(nèi)容

 YWRTP-101405快速退火爐由我公司自主研發(fā)的功能強(qiáng)大的加熱設(shè)備。該產(chǎn)品采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱,造型新穎結(jié)構(gòu)合理,爐體和爐管可以自由滑動(dòng),可實(shí)現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸130MM,可以直接放下5英寸的材料。試樣反應(yīng)區(qū)處在一個(gè)密閉的石英腔體內(nèi),在完成生產(chǎn)工藝的同時(shí),也大大降低了間接污染試樣的可能性。廣泛用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域,可滿足離子注入后的快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火,氧化物生長(zhǎng)以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場(chǎng)合。

主要功能和特點(diǎn):

1、 可視化7寸觸摸屏,設(shè)定數(shù)據(jù)和操作都是圖文界面,操作方便;

2、 爐體配備高精度移動(dòng)平臺(tái),運(yùn)行平穩(wěn)無抖動(dòng);

3、 爐管可自由移動(dòng),且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能;減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能;

4、 爐體爐管可左右移動(dòng),當(dāng)爐管移出爐膛時(shí)冷確風(fēng)扇啟動(dòng),可實(shí)現(xiàn)試樣的迅速降溫,滿足材料驟冷驟熱的實(shí)驗(yàn)要求;

5、 爐膛采用進(jìn)口多晶纖維真空吸附制成,采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱,使用壽命可達(dá)5000小時(shí),升溫速度快,溫度可達(dá)1050℃。

6、 預(yù)留了真空、氣路快速接口,可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用;

7、 預(yù)留了485轉(zhuǎn)換接口,可通過我司專用軟件,與計(jì)算機(jī)互聯(lián),可實(shí)現(xiàn)單臺(tái)或者多臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能;

8、 可內(nèi)置熱電偶,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)加熱物料溫度。

9、 設(shè)置超溫報(bào)警并斷電,漏電保護(hù),操作安全可靠。

技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品型號(hào)

YWRTP-101405

爐體結(jié)構(gòu)

雙層殼體結(jié)構(gòu),高精度移動(dòng)平臺(tái)

爐膛材質(zhì)

日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好

爐管材質(zhì)

高純石英管Φ140*500mm,有效試樣空間:5英寸

密封法蘭

不銹鋼快速擠壓密封法蘭

溫控系統(tǒng)

溫度控制系統(tǒng)采用觸摸屏操作,人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能,并可編制30段升降溫程序;溫精度±1

顯示模式

液晶觸摸屏顯示

加熱元件

進(jìn)口紅外燈管

測(cè)溫元件

N型熱電偶

使用溫度

溫度1050,連續(xù)工作溫度1000

升溫速度

推薦≤20/ sec,*快升溫速度50/sec

降溫速度

200℃以上≤25min

恒溫區(qū)

加熱區(qū)長(zhǎng)度200mm,恒溫區(qū)50mm(±2);80(±3)

尺寸和重量

設(shè)備:610*1150*550mm (深**); 凈重 85kg

機(jī)器電源

AC220V,50/60Hz;額定功率15kw

可選真空

50Pa(常規(guī)機(jī)械泵+指針壓力表)

10Pa(高配機(jī)械泵+數(shù)顯壓力表)

可選混氣

多通道浮子、質(zhì)量混氣系統(tǒng)

購(gòu)

爐架,各種石英、剛玉坩堝,石英管,高溫手套,計(jì)算機(jī)控制軟件等。

 

聯(lián)系我們

聯(lián)系人:黃艷梅

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企業(yè)檔案

  • 會(huì)員類型:免費(fèi)會(huì)員
  • 工商認(rèn)證: 【未認(rèn)證】
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  • 企業(yè)類型:生產(chǎn)商
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