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產(chǎn)品展示

1200℃低真空CVD系統(tǒng)

點(diǎn)擊次數(shù):20發(fā)布時(shí)間:2017/1/5 16:14:00

1200℃低真空CVD系統(tǒng)

更新日期:2017/1/5 16:14:00

所 在 地:中國(guó)大陸

產(chǎn)品型號(hào):YHGS-120613

簡(jiǎn)單介紹:1200℃低真空CVD系統(tǒng)是由YGS-120610管式實(shí)驗(yàn)電爐,混氣系統(tǒng),真空及壓力系統(tǒng)等組成。此系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達(dá)1200℃,通過(guò)滑動(dòng)爐體來(lái)實(shí)現(xiàn)快速的升降溫;配置不同的真空系統(tǒng)來(lái)達(dá)到理想的真空度;同時(shí)通過(guò)三路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體。是為石墨烯生長(zhǎng)、研發(fā)的專(zhuān)用爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實(shí)驗(yàn)。

相關(guān)標(biāo)簽:cvd  低真空 

優(yōu)質(zhì)供應(yīng)

詳細(xì)內(nèi)容

 主要技術(shù)參數(shù):

爐體結(jié)構(gòu)

整機(jī)采用SUS304不銹鋼材質(zhì),流線型外觀,斷熱式結(jié)構(gòu);

日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好

爐子底部裝有一對(duì)滑軌,移動(dòng)平穩(wěn)

爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端,實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻

支撐兩端安裝油壓緩沖器

爐蓋可開(kāi)啟,可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料

電源

電壓:AC220V 50/60Hz;功率:4KW

爐管

高純石英管,高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng),耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小

尺寸:Φ60*1200mm

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速法蘭,通過(guò)用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空

一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷

可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合

加熱系統(tǒng)

加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2,表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用

加熱區(qū)長(zhǎng)度:300mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度:150mm

工作溫度:≤1150

溫度:1200

升溫速率:10/min

溫控系統(tǒng)

溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能

30段升降溫程序

測(cè)溫元件:N型熱電偶

恒溫精度:±1℃

混氣系統(tǒng)

三路質(zhì)量流量計(jì):數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制

內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥

管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套

每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥

通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量

流量規(guī)格:0~1SLM

流量精度:±1.5%

真空系統(tǒng)

采用雙極旋片真空泵,真空度可達(dá)10Pa 

真空機(jī)械壓力表+電阻真空計(jì)顯示

可選高真空系統(tǒng)及真空計(jì),壓力控制系統(tǒng)等

可選配件

混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng),各種剛玉、石英坩堝,石英管,計(jì)算機(jī)控制軟件,無(wú)紙記錄儀,氧含量分析儀。

 

 

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