類型:EP.BA級
特點:中等流量型
流量:150L/min（正常）
使用壓力:15MPa或1MPa
壓力調整范圍:0.05-0.5MPa;0.05-1.0MPa
氣體接觸部分粗糙度:EP: Ra 0.1μm以下;BA: Ra0.3μm以下
氣密性:EP:1×10-10Pa.m3/s以下;BA:1×10-9Pa.m3/s以下.

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