XRF,俗稱X熒光，又常被叫做ROHS檢測(cè)分析儀，6P分析儀，無(wú)鉛檢測(cè)儀器，無(wú)鹵素檢測(cè)儀等。主要用于檢測(cè)認(rèn)證公司及企業(yè)在環(huán)保法規(guī)指導(dǎo)下的rohs，reach的初步篩選無(wú)損檢測(cè)。工作原理為物品中的原子在X射線下發(fā)出特征熒光來(lái)測(cè)量元素的含量。但由于方法和干擾因素，ED-XRF并不能做精準(zhǔn)測(cè)量，置信區(qū)間大概在70per左右。雖然測(cè)量不是很精準(zhǔn)，但較化學(xué)分析儀器勝在測(cè)量速度快，1~3分鐘完成檢測(cè)，可做快速篩選之用。若企業(yè)須精準(zhǔn)檢測(cè)，則要使用GCMS，ICP/AA，UV等儀器（通用方法）。其中GCMS氣質(zhì)聯(lián)用儀可分析PBB，PBDE多溴聯(lián)苯/醚、Pahs多環(huán)芳烴和鄰苯二甲酸鹽等有機(jī)物，ICP/AA則用于測(cè)試有還重金屬如鉛（Pb），鎘（Cd），汞（Hg）砷（As），硒（Se），鋇（Ba）,銻（Sb）等，UV紫外可見(jiàn)光分光光度計(jì)測(cè)試6+鉻（Cr）。
目前企業(yè)使用較多的國(guó)外品牌有：島津EDX-GP，EDX-720,精工SEA1200VX，SEA1000A，日本電子JSX3400RII 3100RII和斯派克SPECTRO XOPES, MIDEX等。

隨著ROHS法令的盛行，XRF，GCMS，ICP，AA等rohs檢測(cè)儀器越來(lái)越被廣大電子生產(chǎn)企業(yè)所使用。然而在購(gòu)買過(guò)程中由于企業(yè)都因剛接觸而對(duì)儀器市場(chǎng)不了解，儀器銷售就把自己的產(chǎn)品吹的天花亂墜，價(jià)格自然而然的高，以至于企業(yè)花很多冤枉錢買了不適用的儀器，有時(shí)甚至要重新購(gòu)買！
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