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產(chǎn)品展示

橢圓偏振測厚儀

點(diǎn)擊次數(shù):717發(fā)布時間:2009/11/2 0:00:00

橢圓偏振測厚儀

更新日期:2009/7/14 8:21:24

所 在 地:天津

產(chǎn)品型號:TPY-1型

簡單介紹:在近代科學(xué)技術(shù)的許多領(lǐng)域中對各種薄膜的研究和應(yīng)用日益廣泛。因此,更加精確和迅速的測定給定薄膜的光學(xué)參數(shù)已變得更加迫切和重要。我公司生產(chǎn)的TPY-1型橢圓偏振測厚儀應(yīng)運(yùn)而生。

相關(guān)標(biāo)簽:橢圓偏振測厚儀 橢偏儀 測厚儀 

優(yōu)質(zhì)供應(yīng)

詳細(xì)內(nèi)容

在近代科學(xué)技術(shù)的許多領(lǐng)域中對各種薄膜的研究和應(yīng)用日益廣泛。因此,更加精確和迅速的測定給定薄膜的光學(xué)參數(shù)已變得更加迫切和重要。在實(shí)際工作中可以利用各種傳統(tǒng)的方法測定光學(xué)參數(shù),如:布儒斯特角法測介質(zhì)膜的折射率,干涉法測膜厚,其它測膜厚的方法還有稱重法、X射線法、電容法、橢偏法等。由于橢圓偏振法具有靈敏度高、精度高、非破壞性測量等優(yōu)點(diǎn),因而,橢圓偏振法測量已在光學(xué)、半導(dǎo)體、生物、醫(yī)學(xué)等諸多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

TPY-1型橢圓偏振測厚儀 產(chǎn)品特點(diǎn):

儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及方便測量等特點(diǎn);

光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定、波長精度高;

儀器配有生成表、查表以及精確計算等軟件,方便用戶使用。

TPY-1型橢圓偏振測厚儀規(guī)格與主要技術(shù)指標(biāo):

 

測量范圍:薄膜厚度范圍:1nm-300nm;      折射率范圍:1-10
測量*小示值:≤1nm                      入射光波長:632.8nm  
光學(xué)中心高:80mm                         允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm    
偏振器方位角范圍:0°- 180°讀取分辨率為0.05°
測量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為:±1nm和±0.01
主機(jī)重量:25kg    入射角連續(xù)調(diào)節(jié)范圍:20°- 90°精度為0.05°

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聯(lián)系人:楊立民

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