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XRF根據(jù)不同元素發(fā)出的特征X射線能量和波長(zhǎng)各不相同，因此通過(guò)對(duì)X射線的能量或者波長(zhǎng)的測(cè)量即可知道它是何種元素發(fā)出的，進(jìn)行元素的定性分析。同時(shí)樣品受激發(fā)后發(fā)射某一元素的特征X射線強(qiáng)度跟這元素在樣品中的含量有關(guān)，因此測(cè)出它的強(qiáng)度就能進(jìn)行元素的定量分析。

一般XRF有兩種基本類型：

波長(zhǎng)色散型（WD-XRF）和能量色散型（ED-XRF)

XRF射線熒光光譜分析(X Ray Fluorescence)

人們通常把X射線照射在物質(zhì)上而產(chǎn)生的次級(jí)X射線叫X射線熒光（X-Ray Fluorescence），而把用來(lái)照射的X射線叫原級(jí)X射線。所以X射線熒光仍是X射線。

一臺(tái)典型的X射線熒光（XRF）儀器由激發(fā)源（X射線管）和探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），激發(fā)被測(cè)樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì)放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長(zhǎng)特性。探測(cè)系統(tǒng)測(cè)量這些放射出來(lái)的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測(cè)系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。X射線照在物質(zhì)上而產(chǎn)生的次級(jí) X射線被稱為X射線熒光.

利用X射線熒光原理，理論上可以測(cè)量元素周期表中的每一種元素。在實(shí)際應(yīng)用中，有效的元素測(cè)量范圍為11號(hào)元素 （Na）到92號(hào)元素（U）。