潔凈室多級碰撞采樣器 
 

該多級碰撞采樣器將懸浮顆粒按照粒徑大小分級采集到硅片、鋁膜及其它平面介質(zhì)上進(jìn)行掃描電鏡或其它技術(shù)分析潔凈室污染。

儀器特點(diǎn)：

l         6級碰撞采樣

l         切割直徑：0.05、0.1、0.3、1.0、3.0、10µm

l         采集顆粒于不同介質(zhì)上進(jìn)行粒徑、形狀及化學(xué)成分分析

l         噪音低無污染采樣泵

l         采樣流量：3 L/min                                                                                                                                    3 liters per minute

l         尺寸WxHxD：230 x 300 x 240 mm