特點(diǎn)：  快速響應(yīng) 

         精確控制

         性能穩(wěn)定

         連接簡(jiǎn)單 只須Swagelok 接頭連接

         接線(xiàn)座是鍍銀

適用對(duì)象：  磁控濺射，光學(xué)鍍膜，太陽(yáng)能電池，ITO

技術(shù)參數(shù)：  流量：0­—500 scmm

            響應(yīng)時(shí)間：2 毫秒

            漏率：1＊10-9sml/sec

            電壓：0—100VCD

            溫度范圍:10⁰C至60⁰C

            入口壓強(qiáng):50PSI

應(yīng)用：自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀+壓電閥，自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀可選配北京清華大學(xué)申老師的，性?xún)r(jià)比高

  優(yōu)勢(shì)： 性?xún)r(jià)比好。

         服務(wù)好，可替換，維修

         國(guó)內(nèi)穩(wěn)定性差：驅(qū)動(dòng)電壓不穩(wěn)，有時(shí)會(huì)高電壓沖擊

         響應(yīng)時(shí)間快