產(chǎn)品展示
PlasCalc系列等離子體監(jiān)控器
點(diǎn)擊次數(shù)：218發(fā)布時(shí)間：2009/11/2 0:00:00
更新日期：1900/1/1 0:00:00
所 在 地：美國
產(chǎn)品型號(hào)：
相關(guān)標(biāo)簽：
優(yōu)質(zhì)供應(yīng)
詳細(xì)內(nèi)容
產(chǎn)品特點(diǎn)
- 1.0nm（半值全波）光學(xué)解析度
- 200～1100nm波長(zhǎng)范圍
- 快速建立和保存實(shí)驗(yàn)方法
調(diào)制步驟編輯
調(diào)制步驟編輯工具可以使用戶簡(jiǎn)單、快速地設(shè)置、建立和保存實(shí)驗(yàn)方法。利用該工具可以對(duì)多數(shù)復(fù)雜的等離子體過程建立簡(jiǎn)便而有效的步驟設(shè)置：例如測(cè)量薄膜沉積情況、監(jiān)測(cè)等離子蝕刻、檢查表面清潔處理、分析等離子室健康控制情況、監(jiān)測(cè)反常的污染和排放現(xiàn)象等。
用于簡(jiǎn)單的等離子體診斷的多重工具
PlasCalc型監(jiān)控器配有操作軟件，所提供的完整的公式編輯器可以進(jìn)行所有需要的數(shù)學(xué)和算法功能。我們同時(shí)提供一個(gè)可選配的放射波長(zhǎng)數(shù)據(jù)庫，可以另外單獨(dú)購買，它能夠提供種類的鑒定；而波長(zhǎng)編輯器則使用戶完成信噪比的優(yōu)化。操作界面包含兩個(gè)窗口，可以同時(shí)顯示真實(shí)的光譜和所有控制過程信息。
產(chǎn)品規(guī)格
| 光譜范圍 | 200～1100nm |
| 光學(xué)解析度 | 1.0nm（半值全波） |
| 數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換器 | 14 bit |
| 數(shù)字輸入/輸出 | 8 x TTL |
| 模擬輸出 | 4 x [0-10V] |
| 連接方式 | USB 1.1 USB 1.1 |
| 電力消耗 | 12V直流電，1.25A |
| 電力需求 | 90～240V交流電，50/60Hz |
| 尺寸 | 257 mm x 152 mm x 263 mm |
| 重量 | 5 kg |
