在保留XGT-1000WRX射線熒光光譜儀優(yōu)點的基礎上，Horiba又推出專用于微區(qū)分析的X熒光分析儀。XGT-5000WR/5700WR采用Horiba技術，可將X射線聚集成全世界*小的10µm射線束，點分析的強度相當于SEM-EDX，是同類產(chǎn)品的20倍。不但可以對樣品的表面進行形貌掃描，也可對樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)透視掃描，甚至還可以實現(xiàn)元素掃描。

該X射線熒光光譜儀體現(xiàn)了劃時代的顯微技術與功能強大的元素分析和結(jié)構(gòu)分析技術的完美結(jié)合，目前已經(jīng)在全球電子企業(yè)中取得了驕人業(yè)績。

X射線熒光光譜儀技術參數(shù)：
★   10μm的世界分辨率分析
★   樣品尺寸350mm×400mm×40mm
★   可以進行光學掃描分析
★   可以進行元素掃描分析
★   可以進行結(jié)構(gòu)透視分析
★   *多可99個點的多點分析 
★   可以進行線性分析
★   數(shù)據(jù)可輕松導出