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我國高精度納米分辨率線位移測量技術(shù)獲新突破
點擊次數(shù)：1154 發(fā)布時間：2007/11/23 14:50:30
近日從吉林省科技廳了解到，由長春光機所承擔(dān)的應(yīng)用基礎(chǔ)研究項目——“高精度納米分辨率線位移測量技術(shù)研究”，日前在長春通過專家鑒定。鑒定委員會專家一致認(rèn)為，該項研究所制成的高精度納米測量傳感器樣機達到四倍光學(xué)倍頻，技術(shù)指標(biāo)達到水平。
據(jù)介紹，線位移尺寸測量是精密加工制造業(yè)的基礎(chǔ)。隨著被加工對象加工精度的提高，位移測量儀器必須具有高精度、高分辨率、大量程、體積小、重量輕等特點。市場上的光柵尺、感應(yīng)同步器、磁柵等傳感器生產(chǎn)廠家眾多，這些廠家生產(chǎn)的傳感器結(jié)構(gòu)簡單、價格低，但分辨率僅在1mm~0.5mm，遠不能滿足要求。此外，少數(shù)加工中心使用的雙頻激光干涉儀多是進口或僅有少數(shù)國內(nèi)科研單位單件研制，雖然其精度高，分辨率可達0.01mm，但也有結(jié)構(gòu)復(fù)雜、體積龐大、價格高、對環(huán)境要求苛刻、穩(wěn)定性較差等缺點。
據(jù)悉，本項目研究了應(yīng)用衍射光干涉原理進行線位移測量的理論計算及光路設(shè)計等各種技術(shù)問題，采用衍射光干涉原理實現(xiàn)了高密度光柵的位移信號提��；實現(xiàn)了光學(xué)四細(xì)分，使光柵原始信號分辨率達到0.6μm；采用光學(xué)偏振器件對光干涉條紋進行空間移相，得到具有穩(wěn)定位相差的四路光電信號，差分處理抑制光電信號的直流電平漂移，增大了信號幅值，提高了測量穩(wěn)定性。
原創(chuàng)作者：姜堰市高科分析儀器有限公司
